Pieteikums
Viss vienā dizains, gudra struktūra un forma. Skenēšanas galviņa un parauga stadija ir izstrādāta kopā, spēcīga pretvibrācijas veiktspēja. Precīzijas lāzera noteikšanas un zondes izlīdzināšanas ierīce padara lāzera regulēšanu vienkāršu un vieglu. Pielāgojiet servomotoru, lai manuāli vadītu parauga tuvojošos galu. vai automātiski, lai realizētu precīzas skenēšanas zonas pozicionēšanu.Augstas precizitātes un liela diapazona paraugu pārsūtīšanas ierīce ļauj skenēt jebkuru interesantu parauga apgabalu; Dažādu veidu skeneri atbilst dažādām klienta prasībām precizitātes un skenēšanas izmēra ziņā; optiskā novērošanas sistēma uzgaļa pārbaudei un paraugam pozicionēšana.CCD novērošanas sistēma reāllaika parauglaukuma novērošanai un pozicionēšanai;Izmantojiet servomotoru, lai panāktu CCD automātisko fokusēšanu Elektroniskā sistēma ir veidota kā modulāra un viegli kopjama un attīstāma. Integrēta ar daudzu darba režīmu vadības elektroniku turpmākai attīstībai.
Galvenās iezīmes
1. Skenēšanas galva un parauga stadija ir izstrādātas kopā, spēcīga pretvibrācijas veiktspēja
2. Precīza lāzera noteikšanas un zondes izlīdzināšanas ierīce padara lāzera regulēšanu vienkāršu un vieglu;
3. Pielāgojiet servomotoru, lai manuāli vai automātiski vadītu paraugu, kas tuvojas galam, lai nodrošinātu precīzu skenēšanas zonas pozicionēšanu.
4. Augstas precizitātes un liela diapazona paraugu pārsūtīšanas ierīce ļauj skenēt jebkuru interesantu parauga apgabalu;
5. Optiskā novērošanas sistēma uzgaļu pārbaudei un parauga pozicionēšanai.
6. Elektroniskā sistēma ir veidota kā modulāra un viegli apkopei un tālākai attīstībai.
7. Pieņemiet atsperi vibrācijas izolācijai, vienkāršai un labas veiktspējas nodrošināšanai.
Specifikācija
Darbība | Kontakta režīms, berzes režīms, | Skenēšanas leņķis | Nejauši |
Parauga lielums | Ø≤90mm, H≤20mm | Kustības paraugs | 0 ~ 20 mm |
Maks.skenēt | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Tuvojas motora impulsa platums | 10±2 ms |
Izšķirtspēja | X/Y: 0,2 nm, Z: 0,05 nm | Optiskā sistēma | Palielinājums: 4x, |
Skenēšanas ātrums | 0,6 Hz ~ 4,34 Hz | Datu punkti | 256 × 256 512 × 512 |
Skenēšana | XY: 18 bitu D/A, Z: 16 bitu D/A | Atsauksmes veids | DSP digitālā atgriezeniskā saite |
Datu izlase | Viens 14 bitu A/D un dubults 16 bitu A/D vairāku kanālu vienlaikus | ||
PC savienojums | USB2.0 | Atsauksmes paraugu ņemšanas ātrums | 64,0 KHz |
Windows | Savietojams ar Windows 98/2000/XP/7/8 |
Standarta
GB/T 2985-1991
Īstas fotogrāfijas