1. Integrēts optiskā metalogrāfiskā mikroskopa un atomu spēka mikroskopa dizains, jaudīgas funkcijas
2. Tam ir gan optiskā mikroskopa, gan atomu spēka mikroskopa attēlveidošanas funkcijas, kuras abas var darboties vienlaikus, neietekmējot viena otru
3. Tajā pašā laikā tam ir optiskā divdimensiju mērīšanas un atomu spēka mikroskopa trīsdimensiju mērīšanas funkcijas
4. Lāzera noteikšanas galva un parauga skenēšanas stadija ir integrēta, struktūra ir ļoti stabila, un prettraucējumi ir spēcīgi
5. Precīzijas zondes pozicionēšanas ierīce, lāzera vietas izlīdzināšanas regulēšana ir ļoti vienkārša
6. Vienas ass piedziņas paraugs automātiski tuvojas zondei vertikāli, lai adatas gals tiktu skenēts perpendikulāri paraugam.
7. Inteliģentā adatas padeves metode ar motoru vadītu spiediena pjezoelektrisko keramikas automātisko noteikšanas metodi aizsargā zondi un paraugu
8. Īpaši liela palielinājuma optiskā pozicionēšanas sistēma, lai panāktu precīzu zondes un parauga skenēšanas zonas pozicionēšanu
9. Integrēts skenera nelineārās korekcijas lietotāja redaktors, nanometru raksturojums un mērījumu precizitāte ir labāka par 98%
Specifikācijas:
| Darbības režīms | pieskāriena režīms, pieskāriena režīms |
| Izvēles režīms | Berzes/sānu spēks, amplitūda/fāze, magnētiskais/elektrostatiskais spēks |
| spēka spektra līkne | FZ spēka līkne, RMS-Z līkne |
| XY skenēšanas diapazons | 50 * 50 um, pēc izvēles 20 * 20 um, 100 * 100 um |
| Z skenēšanas diapazons | 5um, pēc izvēles 2um, 10um |
| Skenēšanas izšķirtspēja | Horizontāli 0,2nm, vertikāli 0,05nm |
| Parauga lielums | Φ≤68mm, H≤20mm |
| Posma ceļojuma paraugs | 25 * 25 mm |
| Optiskais okulārs | 10X |
| Optiskais objektīvs | 5X/10X/20X/50X plāna apohromatiskie mērķi |
| Apgaismojuma metode | LE Kohler apgaismojuma sistēma |
| Optiskā fokusēšana | Aptuvena manuālā fokusēšana |
| Kamera | 5MP CMOS sensors |
| displejs | 10,1 collu plakanā paneļa displejs ar grafiku saistītu mērījumu funkciju |
| Skenēšanas ātrums | 0,6-30 Hz |
| Skenēšanas leņķis | 0-360° |
| Darbības vide | Operētājsistēma Windows XP/7/8/10 |
| Komunikācijas interfeiss | USB2.0/3.0 |
