1. Optiskā metalogrāfiskā mikroskopa un atomu spēka mikroskopa integrēts dizains, jaudīgas funkcijas
2. Tam ir gan optiskā mikroskopa, gan atomu spēka mikroskopa attēlveidošanas funkcijas, kuras abas var darboties vienlaikus, neietekmējot viena otru
3. Tajā pašā laikā tam ir optiskā divdimensiju mērīšanas un atomu spēka mikroskopa trīsdimensiju mērīšanas funkcijas
4. Lāzera noteikšanas galva un parauga skenēšanas posms ir integrēti, struktūra ir ļoti stabila, un pretkomatence ir spēcīga
5. Precīzas zondes pozicionēšanas ierīce, lāzera plankuma izlīdzināšanas pielāgošana ir ļoti vienkārša
6. Vienas ass piedziņas paraugs automātiski tuvojas zondei vertikāli, lai adatas gals tiktu skenēts perpendikulāri paraugam
7. Motora kontrolēta spiediena pjezoelektriskā keramikas automātiskā noteikšanas inteliģenta adatu barošanas metode aizsargā zondi un paraugu
8. Ultra augsta palielinājuma optiskās pozicionēšanas sistēma, lai panāktu precīzu zondes un parauga skenēšanas laukuma novietošanu
9. Integrēts skenera nelineārā korekcijas lietotāja redaktors, nanometru raksturojums un mērījumu precizitāte ir labāka par 98%
Specifikācijas:
Darbības režīms | Pieskaršanās režīms, pieskaras režīms |
Izvēles režīms | Berzes/sānu spēks, amplitūda/fāze, magnētiskais/elektrostatiskais spēks |
spēka spektra līkne | FZ spēka līkne, RMS-Z līkne |
XY skenēšanas diapazons | 50*50um, pēc izvēles 20*20um, 100*100um |
Z skenēšanas diapazons | 5um, pēc izvēles 2um, 10um |
Skenēšanas izšķirtspēja | Horizontāli 0,2 nm, vertikāli 0,05nm |
Parauga lielums | Φ≤68mm, H≤20mm |
Pašu ceļojuma paraugs | 25*25mm |
Optiskais okulārs | 10x |
Optiskais mērķis | 5x/10x/20x/50x plāna apohromatiskie mērķi |
Apgaismojuma metode | Le Kohler apgaismojuma sistēma |
Optiskā fokusēšana | Rupja manuāla fokuss |
Kamera | 5MP CMOS sensors |
izstādīt | 10.1 collu plakanā paneļa displejs ar ar grafiku saistītu mērīšanas funkciju |
Skenēšanas ātrums | 0,6Hz-30Hz |
Skenēt leņķi | 0-360 ° |
Darbības vide | Windows XP/7/8/10 operētājsistēma |
Sakaru saskarne | USB2.0/3.0 |